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废气净化治理中蓄热燃烧法
VOC废气处理氧化法，其中VOC在200-350°C的低温下的废气处理设备中使用铂等贵金属催化剂燃烧。由于它在低温下燃烧，因此具有很高的能效，并且废气处理设备紧凑，占地小，但如果气体中含有硅化合物、有机化合物等催化剂毒物，vocs废气处理设备中的催化剂会迅速劣化，在这种情况下，应进行废气预处理或选择耐久性优良的催化剂。
直接燃烧法
这是一种直接用废气燃烧器焚烧VOC气体的方法。当VOC浓度较低时，辅以城市燃气或石油燃料。由于燃烧温度高达800℃左右，废气处理过程容易产生氮氧化物。如果VOC浓度低，处理量大，则废气处理设备运行燃料消耗大，故不采用。
蓄热燃烧法
蓄热燃烧法是将含有VOC的气体在高温（800℃以上）下滞留燃烧处理，分解为水和二氧化碳的方法。其特征在于，在利用蓄热设备回收废气的热量的同时，有效地处理含有VOC的气体。含VOC的气体通过蜂窝状陶瓷蓄热体被加热，然后进一步上升进入燃烧室，被废气燃烧设备加热到800°C以上燃烧，分解成水和二氧化碳，处理后的气体通过其他陶瓷蓄热体排出。此时，通过将废气的余热回收到蓄热体并利用回收的余热加热新的VOC气体，可以有效地分解含VOC的气体，同时大限度地减少废气处理设备的额外加热。
这种方法由于可以提高热交换效率和进行燃烧，所以燃料消耗低，甚至可以处理低浓度的VOC气体。如果废气浓度高，则可以回收并有效利用废气热。由于不使用催化剂，因此不受催化剂中毒的影响。但处理的气体中含有大量粉尘、雾气等会导致废气处理装置的蓄热层堵塞，因此需要进行废气预处理。
压缩深冷冷凝法
作为处理由家电等产生的相对高浓度、小容量的含VOC气体的方法，有压缩深度冷凝法。该方法是将低温冷凝废气处理设备处理后的含VOC气体通过水冷式冷凝器，冷凝分离出一部分VOC。再用冷冻机至-30～40℃，进行废气冷凝、分离回收。大多数的VOCs可以通过这种废气处理设备回收，但剩余的VOCs终被活性炭吸附设备吸附。-30℃左右的后废气处理在预冷冷凝器中与前废气处理进行热交换，终VOC废气完全被废气处理设备的分解掉。
